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磁控溅射靶材对磁控溅射有什么影响

发布时间:2019-11-02 07:57 来源:未知 编辑:admin

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  也不是吧,磁控溅射的靶材也可以有磁性的啊,只是要做成薄片而已啊,否则会有很大影响的

  如果是稀土永磁提供磁场,有磁性的靶材厚度最好不要超过3mm ,如果是可调电磁场,磁性靶材可以厚一点,通过调整电磁场强度,可以使靶材正常起辉

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